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一、絶縁ガス

代表製品：パーフルオロイソブチロニトリル（C?F?N）
製品説明：
パーフルオロイソブチロニトリルは絶縁性能と消弧性能を有する絶縁ガスである。主に中?高電圧送電システムや配電設(shè)備の絶縁?保護(hù)に用いられている。従來(lái)の絶縁ガスの六フッ化硫黃（SF?）より、地球溫暖化係數(shù)（GWP）が著しく低く、環(huán)境への影響を大幅に低減するため、SF?の理想的な代替品である。
　　※　本品を他のガスと混ぜて使用することより、SF?より99%の炭素排出の削減が実現(xiàn)する。

二、ドライエッチング用ガス
代表製品：HFIB
製品説明：
HFIBは高アスペクト比の特徴を有するチップエッチングガスである。半導(dǎo)體産業(yè)におけるメモリ（DRAM、3D NAND等）製造プロセスのエッチングガスや、半導(dǎo)體材料の反応中間體等の用途としてよく使われている。